Концентрация донорных примесей: не более 0,3 ppba; концентрация акцепторных примесей: не более 0,05 ppba; концентрация углерода: не более 0,4 ppma; объёмная концентрация металлических примесей: не более 0,5 ppbw (Fe, Cr, Ni, Cu, Zn, Al, K, Na, Ti, Mo, W, Co); поверхностная концентрация металлических примесей: не более 1,0 ppbw; размер кусков поликремния: 80–150 мм; глубина ямок, вызванных частицами: не более 7 нм; соответствует GB/T 25074—2017