Концентрация донорных примесей — не более 0,3 ppba, концентрация акцепторных примесей — не более 0,05 ppba, концентрация углерода — не более 0,3 ppma, Fe, Cr, Ni, Cu, Zn, Al, K, Na, Ti, Mo, W, Co: суммарная концентрация металлических примесей — не более 0,5 ppbw, содержание водорода — не более 30 мг/кг, соответствует GB/T 35307—2023