Концентрация донорных примесей: не более 0,3 ppba; концентрация акцепторных примесей: не более 0,05 ppba; концентрация углерода: не более 0,4 ppma; объёмная концентрация металлических примесей (Fe, Cr, Ni, Cu, Zn, Na): не более 0,5 ppbw; поверхностная концентрация металлических примесей (Fe, Cr, Ni, Cu, Zn, Al, K, Na, Ti, Mo, W, Co): не более 1,0 ppbw; глубина ямок, вызванных частицами: не более 5 нм; размер фрагментов поликремния: 6–80 мм; соответствует GB/T 25074—2017